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氧化镁(MgO)单晶基片 |
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MgO |
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氧化镁(MgO)单晶基片广泛应用在多个薄膜技术领域中。如用于制作磁学薄膜、半导体薄膜、光学薄膜和高温超导薄膜等。由于MgO单晶在微波波段的介电常数和损耗都很小,且能得到大面积的基片(直径2英吋及更大),所以是当前产业化的重要高温超导薄膜单晶基片之一。 可用于制作移动通讯设备所需的高温超导微波滤波器等器件。具有很大的现实及潜在应用市场。 |
| 产品主要技术参数 |
产品主要特点 |
主要用途 |
产品主要技术参数:
| 晶系 |
立方晶系Fm3m |
| 晶格常数(Å) |
A=4.130 |
熔点(℃) |
2800 |
熔点(℃) |
2800 |
密度(g/cm3) |
3.58 |
比热(cal/g℃) |
0.27 |
莫氏硬度 |
5.5 |
热膨胀系数(/℃) |
11.2x10-6 |
介电常数 |
ε= 9.65 |
热导率(卡/度 厘米 秒) |
0.14 300°K |
特点 |
可得到大尺寸,价格较低 |
生长方法 |
弧熔法 |
基片规格 :
| 尺寸: |
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20, |
| Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″等 |
| 厚度: |
0.5mm,1.0mm |
| 尺寸公差: |
<±0.1mm |
| 表面抛光: |
单面或双面 |
| 取向: |
<100> <110> <111> |
| 晶面定向精度: |
±0.5° |
| 边缘定向精度: |
2°(特殊要求可达1°以内) |
| 斜切晶片: |
可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片 |
| Ra: |
≤5Å(5µm×5µm) |
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产品主要特点:
由于MgO单晶在微波波段的介电常数和损耗都很小,且能得到大面积的基片(直径2英吋及更大),所以是当前产业化的重要高温超导薄膜单晶基片之一。 |
主要用途:
用于制作磁学薄膜、半导体薄膜、光学薄膜和高温超导薄膜等,也可用于制作移动通讯设备所需的高温超导微波滤波器等器件。 |