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蓝宝石(Sapphire)单晶基片

LaAlO<sub>3</sub>

Al2O3

 

       蓝宝石(Sapphire,又称白宝石,分子式为Al2O3)单晶是一种优秀的多功能材料。它耐高温,导热好,硬度高,透红外,化学稳定性好。广泛用于工业、国防和科研的多个领域(如耐高温红外窗口等)。同时它也是一种用途广泛的单晶基片材料,是当前蓝、紫、白光发光二极管(LED)和蓝光激光器(LD)工业的首选基片(需首先在蓝宝石基片上外延氮化镓薄膜),也是重要的超导薄膜基片。除了可制作Y-系,La-系等高温超导薄膜外,还可用于生长新型实用MgB2(二硼化镁)超导薄膜(通常单晶基片在MgB2 薄膜的制作过程中会受到化学腐蚀)。

 

产品主要技术参数 产品主要特点 主要用途

产品主要技术参数:

 

晶系 六方晶系
晶格常数(  a=4.748    c=12.97

熔点(℃)

2040

密度(g/cm3

3.98

比热(cal/g℃)

0.181

莫氏硬度

9

热膨胀系数(/℃)

5.8x10-6

介电常数

13.2 (⊥c方向)
11.4 (∥c方向)

热导率(卡/度 厘米 秒)   c c
 

 23

0.055

26℃ 0.060

 

 77

0.040

70℃ 0.041

特点

适于制作GaNMgB2薄膜

切向

<10-10>      <1-102>      <11-20>       <0001>  

 

 

基片规格

尺寸: 10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″等
厚度: 0.5mm,1.0mm
表面抛光: 单面或双面
晶面定向精度: ±0.5°
边缘定向精度: 2°(特殊要求可达1°以内)
斜切晶片: 可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°~ 45°)的晶片
Ra: ≤5Å(5µm×5µm)


产品主要特点:

<内容为空>

 


主要用途:

 

<内容空>

张富林

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