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高温超导薄膜的单晶基片ZrO2(YSZ)

ZrO2

ZrO2

氧化锆(ZrO2)单晶基片是最早被开发应用的高温超导基片之一。由于ZrO2单晶需掺入钇(Y)以稳定其结构, 一般实际使用的是YSZ单晶――加入钇稳定剂的氧化锆单晶。它机械、化学稳定性好,价格较低,特别适于用在试验性薄膜制备工作中。氧化锆也是制作双晶基片(用于高温超导结构技术)的良好材料。

产品主要技术参数 产品主要特点 主要用途

产品主要技术参数:

晶系 立方晶系
晶格常数(Å a=5.147

熔点(℃)

2700

密度(g/cm3

6.0

莫氏硬度

8-8.5

热膨胀系数(/℃)

10.3x10-6

介电常数

ε=27

特点

价格较低

生长方法

弧熔法

基片规格 :

尺寸: 10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
Ф15,Ф25等
厚度: 0.5mm,1.0mm等
尺寸公差: <±0.1mm
厚度公差: <±0.015mm(特殊要求可达到<±0.005mm)
表面抛光: 单面或双面
晶面定向精度: ±0.5°
边缘定向精度: 2°(特殊要求可达1°以内)
取向: <100>,<110>,<111>等
斜切晶片: 可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°~ 45°)的晶片
Ra: ≤5Å(5µm×5µm)


产品主要特点:

<内容为空>


主要用途:

<内容空>

张富林

联系人:张富林
电话: (010)82649287   传真:(010)82649467
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